

一、MT-FZ-6RXYZ全自动正置金相显微镜概述:
MT-FZ-6RXYZ全自动正置金相显微镜具有优异的成像性能,舒适的操作体验,为客户提供高性价比的金相分析及工业检测解决方案。X-Y电动平台,实现图像的全尺寸扫描,高性能图像合成,Z轴电动,实现图像的自动聚焦;三轴联动操作手柄,操作简单、便携。
一键式操作,自动扫描、自动对焦,搭载高速扫描平台,图像质量优异。
各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。
宽视场铰链式三目观察筒
正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。

XY电动移动平台设计
采用电动平台设计,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。X*Y=100*100(单位mm)

高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。
二、配置表:
配置 | 整机型号 | |
部件 | 规格 | MT-FZ-6RXYZ |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | · |
观察筒 | 30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节 :50-76mm,三档分光比 0:100 ;20:80 ;100:0(支持 25/26.5mm 视场) | · |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm, 视度可调。 | · |
高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm, 视度可调,带测微尺 | · | |
物镜 | 无限远长距明场复消色差物镜:LMPL2X /0.08 WD6.1 | · |
无限远长距明暗场物镜:LMPL5X /0.15BD DIC WD9.0 | · | |
无限远长距明暗场物镜:LMPL10X/0.30BD DIC WD9.0 | · | |
无限远长距明暗场物镜:LMPL20X/0.45BD DIC WD3.4 | · | |
无限远长距明暗半复消色差物镜:LMPLFL50X/0.55 BD WD7.5 | · | |
无限远长距明暗半复消色差物镜 : LMPLFL100X/0.8 BD WD2.1 | · | |
转换器 | 内定位五孔明暗场转换器,带 DIC 插槽 | · |
调焦机架 | 反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置 . 内置100-240V宽电压系统,5W 暖色LED透射光照明系统。 | · |
照明系统 | 明暗场反射照明器 , 带可变孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽 | · |
偏光组件 | 起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 。 | · |
摄像装置 | 索尼芯片USB3.0接口 1200万像素摄像 | · |
0.5X摄像接筒。 | · | |
聚焦方式 | 自动 / 手工(Z轴自动聚焦) | · |
XY电动载物台 | 平台行程:水平方向*竖子方向=100*100(单位mm) 螺杆导程:2000μm 重复定位精度:±5μm以内 16细分下的分辨率:单步0.625μm 步进电机步距角:1.8° 额定工作电流:单轴1.0A(24V电源供电) 最大负载:≥5kg 最大往返间隙:5微米 | |
测量系统 | 图像分析测量系统FCL-RS, | · |
测微标尺 | ||
驱动控制箱 | 长*宽*高:307*260*105(单位:毫米) 触摸屏:实时显示数据以及触控操作 采用通用232串口与PC机进行通信(115200波特率) 串口控制,能设置电机的移动速度,移动距离,移动方向 | · |
三、软件主界面:


1、三点定圆:
软件采用三点定圆的算法,确定滤纸的直径和扫描范围。

2、图像均衡:
软件可自动把图像背景变均匀。

3、全自动图像扫描,拼接
可快速、高效、精准地完成滤膜图像的自动扫描、拼接和聚焦;


4、几何测量
对通过摄像头采集到的图片以及载入到软件中的图片进行几何测量。

5、实物图像

平台特写:


控制器:

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